電子デバイス関連製品 表面改質
当社の大気圧プラズマ装置は電子デバイス関連向け基板や電子部品の製造工程において、表面洗浄、めっき前処理、レジスト塗布前処理に使用されています。
こんな課題は
ありませんか?
課題01.
エッチング前処理を行っているが、パターンの微細化で液浸透不良が起きている。
課題02.
液晶の表面処理を行っているが、均一性がとれない。
課題03.
現在の表面改質では廃液が発生するため処理に困っている。
大気圧プラズマでは
電子デバイスへの適用が
可能です！
大気圧プラズマ処理は、プラズマガスにより処理を行うため、微細部分への均一な処理が可能です。また薬液などを使用しないため、環境にやさしく生産性に優れた表面改質方法です。
適用例
適用例01
液晶・ディスプレイの表面処理
液晶ディスプレイやガラスの洗浄により表面の親水性が向上。
適用例02
電子回路基板のめっき前処理
電子回路基板表面の有機汚染物や油脂膜を洗浄除去することにより、めっきの信頼性を改善。
適用例03
レジスト塗布前処理
液晶パネル製造工程（液晶セル工程、カラーフィルタ製造工程）において、樹脂塗布前に基板をプラズマ洗浄することにより、塗布膜とガラスの密着性が改善。
適用例04
電気部品のボンディング性向上
半導体パッケージ製造工程における、信頼性の改善。
よくある質問
Qプラズマとは何ですか？
A
固体、液体、気体に続く第4の状態と言われており、ガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態です。
身近なものでは、オーロラや雷がプラズマ状態に該当します。非常に活性な状態のため、基材の表面に触れることで様々な現象が起こります。
Qユーティリティとして必要なものは何ですか？
A
ガス（窒素、酸素、アルゴン等）、200V電源、冷却水、一般排気設備が必要です。
Qサンプルテストは可能ですか？
A
大阪府の堺市、神奈川県の平塚市にサンプルテスト用のデモルームを保有しています。
サンプルを送付頂き当社で処理、もしくはサンプルを持ち込み頂きお立会での処理も可能です。