製品紹介
ダイレクト型 プラズマ表面処理装置
製品紹介
ダイレクト型 プラズマ表面処理装置
2枚の平行平板電極間でプラズマを発生させ、その間に基板を送入することで、均一な親水処理や撥水処理を行う。
特長01
特長02
特長03
特長04
その他の適用例
| 基板厚 | 最大4mm |
| 照射幅 | 最大1200mm |
| ガス量 | 〜500L/min |
| 搬送速度 | 0.1〜20m/min |
| 処理面 | 片面、両面 |
| ガス種 | アルゴン、ヘリウム、窒素、酸素等 |
| ユーティリティ | 高圧電源、制御装置、冷却水、排ガス設備 他 |
装置例01
開発試験用に使用する装置です。
使用状況に合わせてカスタマイズ可能です。
装置例02
RtoR搬送機付き装置です。
・FPC基板用フィルムや液晶フィルム向け
RtoR搬送機付き装置です。
・FPC基板用フィルムや液晶フィルム向け
装置例03
基板処理向けのコロ搬送機付き装置です。
・液晶ディスプレイやガラス基板向け
| 装置 | リモート型 | ダイレクト型 | チューブ型 |
|---|---|---|---|
| 用途 | ・ガラス、金属等の基板洗浄 ・樹脂材の濡れ性改善、接着 性改善 |
・フィルムの濡れ性改善、 接着性改善 ・ガラス基板の洗浄 |
・チューブの濡れ性改善、 接着性改善 |
| 適用例 | ・液晶、PDPガラスのレジス ト塗布前洗浄 ・電子部品のボンディング前 洗浄 ・樹脂成形体の接着性改善処理 |
・フレキシブル回路基板（FPC） 用ポリイミドの銅箔接着前 処理 ・液晶ディスプレイ用光学 フィルムの塗工前処理 ・太陽電池モジュール裏面シー トの接着前処理 |
・カテーテル外面の親水処理 ・点滴用チューブ内面の気泡付 着防止処理 ・プリンタローラー用チューブ 内面の接着前処理 |
| プロセスガス | ・窒素 ・アルゴン ・酸素 ・その他ガス |
・窒素 ・アルゴン ・ヘリウム ・酸素 ・その他ガス多数 |
・アルゴン ・ヘリウム ・酸素 ・その他ガス多数 |
最適ガス種、ガス供給、排ガス処理を含めた
トータルシステムの提案をいたします。
Q大気圧プラズマ表面改質の原理はどのようなものですか？
A
プラズマによって発生する酸素ラジカル等の活性種が、対象物と反応することで表面改質されます。
⭕️有機物の洗浄原理
汚れ成分（炭化水素等の有機物）に酸素ラジカルが反応することで、有機物を分解しCO2などの形で表面から除去されます。
⭕️親水化の原理
樹脂のC-H結合と反応し、-OHやCOOH等の親水性官能基を増やすことで、親水性を向上させます。
Qサンプルテストは可能ですか？
A
大阪府の堺市、神奈川県の平塚市にサンプルテスト用のデモルームを保有しています。
サンプルを送付頂き当社で処理、もしくはサンプルを持ち込み頂きお立会での処理も可能です。
Q受託処理は可能ですか？
A
フィルムの受託処理が可能です。装置仕様は以下の通りです。
・装置：RtoR式ダイレクト型装置
・処理幅：1250mm
・フィルム厚み：15～125μm
・処理面：両面