製品紹介
リモート型 プラズマ表面処理装置
製品紹介
リモート型 プラズマ表面処理装置
平行平板電極間で放電を発生させガスの流れによって下の基板に吹き付けることにより、瞬時に表面の汚れや残渣を除去。
特長01
特長02
特長03
特長04
特長05
特長06
その他の適用例
| 放電ユニットサイズ | 最大 L2500×300×300mm |
| 照射幅 | 200〜2500mm |
| 処理面 | 片面 |
| ガス種 | 窒素、酸素、アルゴン、その他ガス多数 |
| ユーティリティ | 高圧電源、制御装置、冷却水、排ガス設備 他 |
装置例01
開発試験用に使用する装置です。
使用状況に合わせてカスタマイズ可能です。
開発試験用に使用する装置です。
使用状況に合わせてカスタマイズ可能です。
装置例02
開発試験用に使用する可搬式の装置です。
開発試験用に使用する可搬式の装置です。
装置例03
基板処理向けのコロ搬送機付き装置です。
・液晶ディスプレイやガラス基板向け
基板処理向けのコロ搬送機付き装置です。
・液晶ディスプレイやガラス基板向け
| 装置 | リモート型 | ダイレクト型 | チューブ型 |
|---|---|---|---|
| 用途 | ・ガラス、金属等の基板洗浄 ・樹脂材の濡れ性改善、接着 性改善 |
・フィルムの濡れ性改善、 接着性改善 ・ガラス基板の洗浄 |
・チューブの濡れ性改善、 接着性改善 |
| 適用例 | ・液晶、PDPガラスのレジス ト塗布前洗浄 ・電子部品のボンディング前 洗浄 ・樹脂成形体の接着性改善処理 |
・フレキシブル回路基板（FPC） 用ポリイミドの銅箔接着前 処理 ・液晶ディスプレイ用光学 フィルムの塗工前処理 ・太陽電池モジュール裏面シー トの接着前処理 |
・カテーテル外面の親水処理 ・点滴用チューブ内面の気泡付 着防止処理 ・プリンタローラー用チューブ 内面の接着前処理 |
| プロセス ガス |
・窒素 ・アルゴン ・酸素 ・その他ガス |
・窒素 ・アルゴン ・ヘリウム ・酸素 ・その他ガス多数 |
・アルゴン ・ヘリウム ・酸素 ・その他ガス多数 |
最適ガス種、ガス供給、排ガス処理を含めた
トータルシステムの提案をいたします。
Q大気圧プラズマ表面改質の原理はどのようなものですか？
A
プラズマによって発生する酸素ラジカル等の活性種が、対象物と反応することで表面改質されます。
⭕️有機物の洗浄原理
汚れ成分（炭化水素等の有機物）に酸素ラジカルが反応することで、有機物を分解しCO2などの形で表面から除去されます。
⭕️親水化の原理
樹脂のC-H結合と反応し、-OHやCOOH等の親水性官能基を増やすことで、親水性を向上させます。
Qサンプルテストは可能ですか？
A
大阪府の堺市、神奈川県の平塚市にサンプルテスト用のデモルームを保有しています。
サンプルを送付頂き当社で処理、もしくはサンプルを持ち込み頂きお立会での処理も可能です。
Q受託処理は可能ですか？
A
フィルムの受託処理が可能です。装置仕様は以下の通りです。
・装置：RtoR式ダイレクト型装置
・処理幅：1250mm
・フィルム厚み：15～125μm
・処理面：両面