特長1
特長2
特長3
| 方式 | 当社の 大気圧プラズマ |
エキシマUV | コロナ放電 | 真空プラズマ |
| ガス種 | 特定のガス | 窒素のみ | 空気のみ | 特定のガス |
|---|---|---|---|---|
| 処理空間の 状態 |
グロー放電 | UV光照射 | コロナ放電 | グロー放電 |
| コスト |  |
|
⭕️ | ✖︎ |
| 処理均一性 | ⭕️ | |
|
⭕️ |
| ダメージの 少なさ |
⭕️ | ⭕️ | ✖︎ | ⭕️ |
| 処理速度 | ⭕️ | ✖︎ | ⭕️ | |
| 連続処理 | ⭕️ | ⭕️ | ⭕️ | ✖︎ |
プラズマ中の活性種により表面の分子結合が切断され、新たな親水基が形成されることで、表面の濡れ性制御（親水化、撥水化）や塗工性、印刷性、密着性の改善効果があります。
汚れ成分（炭素）がプラズマ中の活性種と反応し、二酸化炭素として除去されます。ガラス、ウェハー上の有機物除去や電子部品の洗浄が可能です。
基材表面に異なる分子を形成することや、微細な凹凸を形成することで、接着性を高めます。
・無機物表面の酸化膜還元
・レジスト膜のエッチング
完全ドライによる製造ラインの簡素化・高速化が可能です。また、連続処理による高い生産性、低ランニングコストも実現しています。
フィルム表面のプラズマ受託処理を大阪府堺市で実施しております。
【用途】
フィルムの濡れ性改善、接着性改善
【適用分野例】
・太陽電池用F系フィルムの親水化
・回路基板用PIフィルムの接着性向上
・ディスプレイ用PETフィルムの濡れ性改善
| フィルム厚 | 15〜125μm |
| フィルム幅 | 〜1250mm |
| 搬送速度 | 最大 20m/min |
| フィルム径 | 最大 φ300mm |
| フィルム重量 | 最大 160kg |
| 対応コア径 | 3 inch, 6 inch |
| 処理面 | 両面 |
最適ガス種、ガス供給、排ガス処理を含めた
トータルシステムの提案をいたします。
Qプラズマと大気圧プラズマ表面改質の原理はどのようなものですか？
A
プラズマによって発生する酸素ラジカル等の活性種が、対象物と反応することで表面改質されます。
⭕️有機物の洗浄原理
汚れ成分（炭化水素等の有機物）に酸素ラジカルが反応することで、有機物を分解しCO2などの形で表面から除去されます。
⭕️親水化の原理
樹脂のC-H結合と反応し、-OHやCOOH等の親水性官能基を増やすことで、親水性を向上させます。
Qどの程度効果が持続しますか？
A
基材によって持続時間は変わります。
処理直後から処理効果が悪化するケースが多いですが、未処理の状態までは悪化しません。
また、処理直後から急激に悪化する基材もあれば、半年間以上処理効果が落ちない基材もあります。
Q有害物質は発生しますか？
A
一般的な親水処理ではオゾンが発生しますが、排ガス処理設備などは不要です。
ただし、オゾン漏洩の観点と、N2など各種ガスを使用し処理を行うことによる窒息の観点で、局所排気は必要となります。